クリーンルームのクラスは粒子何個まで?

10をクラス番号ぶん掛けた数が0.1μmの粒子の上限。測る粒径が0.1μmより大きいぶんは、0.1÷粒径の2.08乗を掛けて減らす

ISO 14644-1 が清浄度クラスを決めている式 (Cn=10^N×(0.1÷D)^2.08)。クラス番号が1つ上がると許容粒子数は10倍になり、測る粒径が大きくなるほど2.08乗ぶん少なくなる。規格の表は有効数字3桁に丸めた数を載せているので、末尾だけこの式と違う (クラス5の0.5μmは式で3516.8、表では3520)。クラス番号は0.1刻みの中間値も書ける。粒径は0.1〜5μmのあいだで、その外は規格が許容粒子数を定めていない。表が空欄の枡 (クラス1の5μmなど) は、粒子数が少なすぎる・多すぎて数えられないため規格が分類に使わないと断っている箇所で、式では数字が出ても測定の根拠にはならない。日本の現場で言う米国式のクラス100は0.5μmで100個/ft3=3531個/m3 なのでISOクラス5がほぼ同じ、クラス1000がクラス6、クラス1万がクラス7にあたる (FED-STD-209E は廃止済み)。実際の合否は決められた測定点数と95%上側信頼限界まで含めた手順で決まるので、有資格者の判断で。